Высокотемпературная четырехзондовая измерительная система MatMeas RMS-1000P в основном используется для оценки электропроводности полупроводниковых пленок и листов., Система использует линейный принцип измерения с четырьмя датчиками и национальный стандарт метода физических испытаний монокристаллического кремния и ссылку на американский стандарт ASTM.. стандартный дизайн и разработка, может реализовать высокую температуру, условия вакуума и инертной атмосферы для измерения кремния, монокристалл германия (бар, вафля) удельное сопротивление и кремний. Система спроектирована и разработана со ссылкой на американский стандарт ASTM.. стандарт и может измерять удельное сопротивление монокристаллов кремния и германия. (стержни и пластины) и квадрат сопротивления эпитаксиальных слоев кремния, диффузионные слои и слои ионной имплантации, а также квадратное сопротивление и удельное сопротивление проводящего стекла (ЭТОТ) и другие проводящие пленки при высокой температуре, вакуум и инертная атмосфера. Система широко используется в университетах., научно-исследовательские институты и подразделения по изучению электрических свойств полупроводниковых тонкопленочных и листовых материалов.
Температура измерения: РТ-600°С/1000°С
Температурный режим: 0-10°С/мин (Типичное значение: 3С/мин)
Точность контроля температуры: ±0,5°С
Диапазон измерения сопротивления: 0.1~ 100 м
Электроположительный диапазон измерения: 1МОм.см~100МОм.см
Диапазон сопротивления квадрата: 0.1~ 100 м
Среда измерения: воздух, текущая атмосфера, вакуумная атмосфера
Комбинация измерений: четырехзондовое двойное электрическое измерение, комбинированное измерение
Размер образца: φ15~30 мм, г<4лист или пленка мм.
Материал электрода: игла из карбида вольфрама / платиновый зонд
Формат хранения данных: текстовый формат ТХТ
Обмен данными: USB
Источник питания: 220В±10%, 50Гц
Рабочая Температура: 5C до +40с.
Температура хранения: -40С до +65С
Рабочая влажность: вплоть до 95% относительная влажность при +40°C (без конденсации)
Размер оборудования: 630х640х450мм (ДхВхШ)
Масса:38кг
Гарантия: 1 год
